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　　99久久久精品免费观看国产蜜的微型化隨著集成微電子機械加工技術的日趨成熟，MEMS傳感器將半導體加工工藝引入傳感器的生產製造，實現了規模化生產，並為傳感器微型化發展提供了重要的技術支撐。近年來MEMS傳感器主要研發以下幾個方向：

　　1、微型化的同時降低功耗；2、提高精度；3、實現MEMS傳感器的集成化及智能化；4、開發與光學、生物學等技術領域交叉融合新型傳感器。